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  • 緊湊型側式真空氣相沉積設備。工作時把含有構成薄膜元素的化合物（長鏈性高分子材料，一般為派瑞林Parylene）、單質氣體經過昇華、熱解後進入放置產品的真空反應室，借助空間氣相...2019-06-01 15:00:13
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