運用范圍

       真空氣相沉積設備是一種用于電子產(chǎn)品防水保護的鍍膜設備。工作時把含有構成薄膜元素的化合物（長鏈性高分子材料，一般為派瑞林Parylene）、單質氣體經(jīng)過升華、熱解后進入放置產(chǎn)品的真空反應室，借助空間氣相化學反應, 在產(chǎn)品表面上沉積生成0.1-100um的厚度均勻，無應力、優(yōu)異的電絕緣性和防護性、防潮、防霉、防腐、防鹽霧的薄膜涂層。　

       廣泛應用于：航空航天、電路板、LED 、磁性材料、傳感器、硅橡膠、密封件、醫(yī)療器械、珍貴文物等領域產(chǎn)品的防水封裝與保護工藝中。